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键合工艺
超10年MEMS经验团队主导
键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合为一体的技术。键合是MEMS工序中的重要一步,选择最佳的键合工艺能够正确保持机械稳定性,密封性以及器件的满足程度。美明电子目前掌握多种键合技术,工艺成熟,满足各种客户对不同衬底、厚度、温度、压力等要求。
键合技术广泛应用于微电子器件的制造过程中,如微腔器件,悬臂梁器件,牺牲层,特殊结构的制作等。

阳极键合

共晶键合(AuSn,CuSn,AuSi等)

胶键合(AZ4620,SU8,键合专用胶)

引线键合

多层键合

硅and硅键合

倒装键合

我们的四大优势
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严格保密
代工种类齐全,质量佳
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