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EVG 620BA对准系统
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EVG 620BA对准系统

EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备,采用双面光学对准,拥有全自动高分辨率底部摄像头,适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。

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    EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备,采用双面光学对准,拥有全自动高分辨率底部摄像头,适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。


    产品简介:


    EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备,采用双面光学对准,拥有全自动高分辨率底部摄像头,适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。

     

    主要特点及参数:


    ·最大支持6英寸(150mm)晶圆


    ·支持2层或3层晶圆堆叠对准


    ·对准精度:


    底部对准精度≤±2μm 3σ


    透明对准精度≤±1μm 3σ


    ·可选配红外对准


    ·可升级至自动对准


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