苏州美明电子
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EVG SmartView NT是一款全自动量产型键合对准设备,适用于三维互连、晶圆级封装、高产量MEMS,可以作为模块集成在EVG560键合设备或者GEMINI平台。
·最大支持12英寸(300mm)晶圆
·支持2层或3层晶圆堆叠对准
·支持:面对面对准、背面对准、红外对准和透明对准
·可升级至自动对准