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EVG 50是一款高速高精度的厚度测量工具,多用于多层或单层晶圆上各层厚度的测量。
·多层厚度测量
·中间层厚度测量
·键合界面检查
·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中