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CentroTherm VERTICOO200立式炉
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CentroTherm VERTICOO200立式炉

centrotherm c.VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。

 


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    商品描述

    centrotherm c.VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。

     


    产品简介


    centrotherm c.VERTICOO 200为高批量生产和产能最大化而设计，并具有高度的灵活性，适于所有的标准大气压与低压化学气相沉积工艺。优化的单管双舟传送系统，使搬运时间大大缩短，同时降低拥有成本与维修成本。


    适用工艺


    ·退火


    ·氧化


    ·扩散


    ·LPCVD


    主要优点


    ·每批加工量多达150片晶圆


    ·自对准


    ·双舟输送


    ·水冷加热匣


    ·占地面积小


    ·可以并排安装


    选型

    型号价格库存
    VERTICOO 200面议有货