• 产品介绍

• Q150T系列镀膜仪是一款专为SEM、TEM及薄膜应用设计的高真空镀膜仪，对于扫描电镜尤其是高分辨场发射扫描电镜(SEM)样品制备、透射电镜(TEM)及其它非电镜(如材料领域)镀膜应用非常理想。

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• Q150T装在一个坚固的特制整体成型机箱中，包括空气冷却的70L/s涡轮分子泵。

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• 自动进气控制保证了镀膜期间最佳的真空条件。

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• 真空腔室直径为165mm (6.5英寸)并带有防爆罩。

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• Q150T含有的“真空闭锁”功能允许在不用设备时维持腔室真空，从而改善后续真空性能

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• 特点

• 一体化设计，结构紧凑，节约空间。

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• 精细颗粒镀膜——适合先进的高分辨率场发射扫描电镜（FE-SEM）制样的应用。

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• 涡轮分子泵高真空系统——高真空蒸镀碳，理想的SEM和TEM镀碳膜应用。

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• 全自动触摸屏控制——快速数据输入，操作简单。采用触摸屏作为简单的操作核心，即使最不熟练的或偶而使用的操作者，仪器也能使其快速键入和贮存自己的处理数据。程序中已贮存各种典型的镀膜参数资料供用户直接调用，以便为新手提供进一步的易操作帮助。

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• 可储存多个客户自定义镀膜方案——对多用户实验室十分理想。

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• 与镀膜过程和镀膜材料相匹配的自动进气控制真空——无需针阀调节。

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• 精细的厚度控制——使用膜厚监控选项。

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• “智能”式系统识别——自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型。

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• 先进的碳棒蒸发枪设计——简单操作，重复性好。

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• 蒸发电流波形控制——确保获得稳定的可复制碳膜。

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• Drop-in落入式快换样品台（标配旋转台）。

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• 真空闭锁功能：可让工作腔室处于真空状态，改善后续真空效果，或在真空下保存样品。

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• 人体工程学设计的整体成型机箱——易维护和易拆装。

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• Q150T E热蒸发采用稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发方式，确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。

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• 可选配件

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• 可预设倾斜角的旋转台；

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• 可变角度旋转行星台；

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• 可用于4英寸晶圆的平面旋转台；

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• 显微镜载玻片样品台；

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• 用于高样品的加高腔室；

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• 膜厚监测附件（FTM），用于可重复膜厚控制：到达所设定碳膜厚度，碳棒/碳丝热蒸发即停。

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• 适用于6.15mm碳棒蒸发头。但推荐使用更易控制及更经济的3.05mm直径标配碳棒头。 

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• 碳丝蒸发头；

• 金属蒸发和光阑清洁头：用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。可配备一个标准钼舟用于清洁SEM或TEM光阑。金属蒸发头被安装用于向下蒸发，但向上蒸发也能通过配装两个延长电极而获得。

  
  

选型

Q150T系列有三种型号：Q150T S、Q150T E和Q150T ES。

其中Q150T E为一款高真空镀碳仪（标配为3.05mm碳棒蒸发），用来制作高稳定性的碳膜和表面覆形膜，对透射电镜（TEM）的应用非常理想；

通过可选的金属蒸发头，也可用于源自钨篮或舟的金属热蒸发。