特点
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单
基本设备
根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同;
腔室容积:根据具体版本,分为80-100升;
供电电源:230V或者400V/3相位;
气源
质量流量控制器(MFCs);
真空腔室
矩形不锈钢件,配有铰链的门;(约φ400mm、长625mm)
矩形不锈钢件,配有铰链的门; (约宽400mm×高400mm×深625mm)
装载件
产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃;
电极
单层或多层;
具有气体喷淋的RIE电极;
控制系统
PCCE控制系统(MicrosoftWindows CE);
PC控制系统(MicrosoftWindows POS Rsady 2009);
压力测量
Pirani;
Baratron(适用于腐蚀性气体版本);
计时器
数字型;
发生器频率:
40kHz:功率0-1000W;0-1500W;0-2500W;
13.56MHz:功率0-300W;0-600W;0-1000W;
2.45GHz:功率0-1200W;
所有发生器均为0-100%无极可调型。
真空泵
规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)。
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