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低压等离子系统Tetra100
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低压等离子系统Tetra100

等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。


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商品参数
    商品描述

    等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
    对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。



    • 特点


    • 等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。


    • 对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。


    • 等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。


    • 射频功率无极连续可调。


    • 高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。


    • 特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。


    • 特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。


    • 设备整体模块化设计,安装与维护极为简单


    • 基本设备


    • 根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同;


    • 腔室容积:根据具体版本,分为80-100升;


    • 供电电源:230V或者400V/3相位;



    • 气源


    • 质量流量控制器(MFCs);

    •  

    • 真空腔室


    • 矩形不锈钢件,配有铰链的门;(约φ400mm、长625mm)


    • 矩形不锈钢件,配有铰链的门; (约宽400mm×高400mm×深625mm)

    •  

    • 装载件


    • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃;

    •  

    • 电极


    • 单层或多层;


    • 具有气体喷淋的RIE电极;

    •  

    • 制系统


    • PCCE控制系统(MicrosoftWindows CE);


    • PC控制系统(MicrosoftWindows POS Rsady 2009);


    • 压力测量


    • Pirani;


    • Baratron(适用于腐蚀性气体版本);

    •  

    • 计时器


    • 数字型;

    •  

    • 发生器频率


    • 40kHz:功率0-1000W;0-1500W;0-2500W;


    • 13.56MHz:功率0-300W;0-600W;0-1000W;


    • 2.45GHz:功率0-1200W;


    • 所有发生器均为0-100%无极可调型。

    •  

    • 真空泵


    • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)。


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