产品介绍
L79/HCS系统可用于半导体组件性能表征,包括:迁移率,电阻率,载流子浓度和霍尔常数。
基本型提供不同形状和温度条件下所需的样品支架。
选配低温(液氮)附件结合高温炉(最高温度可达240°C)可保证所有应用领域环境条件下的测试。
永磁体和电磁铁可提供高达数个特斯拉强度的固定或者可变磁场。
基于测量软件可显示的视窗内容包括I-V 和 I-R 数据图
系统可测试多种材料包括Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN (N 型或P型均可测量),金属膜,氧化物等,样品测试时便可完成系统功能演示。
特点
载流子浓度
电阻率
迁移率
电导率
α (水平电阻值/垂直电阻值)
霍尔常数
磁致电阻
技术参数
输入电流: | 500nA 到 10mA (500nA 步长) |
霍尔电压: | 0.5 到 4.5V |
极限分辨率: | 65pV |
样品形状: | 15x15 20x20 25x25mm 高度可达 5mm |
磁场强度: | 可达 1T |
传感器: | 液氮温度到 240°C |