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大尺寸铬版(>9英寸)
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大尺寸铬版(>9英寸)

美明电子提供各类苏打基材石英基材,各类光掩模。满足不同客户的个性需求,欢迎致电合作洽谈。

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    美明电子提供各类苏打基材石英基材,各类光掩模。满足不同客户的个性需求,欢迎致电合作洽谈。


    大尺寸铬版(>9英寸)
    类别超高精度/高精度(228.6mm*228.6mm)中精度/低精度(228.6mm*228.6mm)
    线缝尺寸 (μm)线缝精度 (μm)垂直度 (urad)总长精度 (μm)位置精度 (μm)线缝尺寸 (μm)线缝精度 (μm)垂直度 (urad)总长精度 (μm)位置精度 (μm)
    石英≥1≤0.5≤0.5<0.3≤0.1≥3≤0.5≤0.5≤0.5≤0.2
    苏打≥1≤0.5≤0.5<0.3≤0.1≥3≤0.5≤0.5≤0.5≤0.2