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EVG 320晶圆清洗系统
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EVG 320晶圆清洗系统

EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。

 


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    商品描述

    EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。

     


    产品简介：


    EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。

     

    主要特点及参数：


    ·最大可适用于12寸（300mm）晶圆


    ·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自动运行


    ·采用1MHz兆声清洗头，有效去除＞1μm的颗粒


    ·最多可以配置4个清洗腔室


    ·机器人处理确保预对准精度


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