苏州美明电子
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全新的 DektakXT 采用具有单拱龙门式设计,配备全彩HD 摄像机,并且利用 64 位同步数据处理模式完成精准测量和操作效率的台阶仪。过去四十多年间,布鲁克的台阶仪研制和生产一直在实践上不断实现创新,DektakXT 延续了这种开创性的风格。
1、 主要用于膜厚、应力、表面粗糙度和表面形貌的测量,实现纳米尺度的表面轮廓测量;
2、 广泛应用于半导体器件、MEMS、金属镀层、油漆镀层、玻璃镀膜、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。
垂直量程
1mm
垂直分辨率
最大 0.1nm
单次扫描长度
55mm ( 最大 200mm)
最大样品高度
50mm
样品台尺寸
100mmX100mm (手动) 150mmX150mm(自动)
样品台旋转
360 度连续旋转
台阶测试精度
<5Å( 1sigma on 1μm step)