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Camtek Eagle-AP是一款专为先进封装设计的2D/3D自动光学检测设备,可以检测小到2μm的Bump,RDL测量,TSV通孔等。
·检测下一代2um的Bump
·每块晶圆上超高数量的Bump检测(5000万个)
·Bump尺寸和表面缺陷检测
·RDL尺寸和高度测量
·TSV后充填突出物检测
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Eagle-AP
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