产品简介
Nordson Matrix XS在线X射线检测系统是一款为半导体后道设计的自动化监测平台,专门设计用于在Stripe或JEDEC托盘上对半导体后道精密复杂产品(例如重叠的Bonding线或密集bonding线领域)进行精密的高速检测。可在高速和高精度模式下切换,高精度模式下可达到小于1微米的解析度。
应用领域
·半导体应用
·引线键合检查(前/后)
·薄且复杂的PCB
·柔性电路
·芯片贴装空洞
·可满足2D、2.5D、3D的各类检测需求;
·微焦距X射线灯管(闭管/免维护),最高分辨率小于1微米;
·多达5轴可编程伺服马达传动系统;
·3D重构技术(3D SART;仅限XS-3)
·自动树形判断(ATC)功能用于自动生成检测策略
·离线编程软件用于AXI程序生成、调试、模拟及提供缺陷参考图片