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电子束光刻胶
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电子束光刻胶

电子束光刻胶-SU-8 GM1010/HSQ/XR-1541-002/004/006/HSQ Fox-15/16/PMMA系列 

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商品描述

电子束光刻胶-SU-8 GM1010/HSQ/XR-1541-002/004/006/HSQ Fox-15/16/PMMA系列 

产品型号规格如下：

电子束光刻胶
型号
光源类型分辨率
厚度适用范围
SU-8  GM1010
电子束负性100nm0.1-0.2
可适用于高宽比较大的纳米结构

HSQ

电子束负性6nm30nm-180nm分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀
XR-1541-002/004/006电子束负性6nm30nm-180nm分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀
HSQ FOX-15/16电子束负性100nm350nm-810nm分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀
PMMA(国产)
电子束正性/
高分辨率适用于各种电子束工艺
PMMA（进口）电子束正性/
高分辨率适用于各种电子束工艺


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