2021中国MEMS10强企业，附23条MEMS生产线汇总！
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作者:chipnews
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发布时间: 2021-11-03
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由中国唯一的MEMS行业组织——中国半导体行业协会MEMS分会联合微纳制造中试平台、中科院纳米所等举行，今年已经是第三届
2021中国MEMS传感器领域实力最强的10家公司！
10月27日，2021年中国MEMS制造大会（China MEMS）在苏州举行，这是目前中国MEMS行业最具影响力的大会，由中国唯一的MEMS行业组织——中国半导体行业协会MEMS分会联合微纳制造中试平台、中科院纳米所等举行，今年已经是第三届。会上，举行了“2020年中国半导体MEMS十强企业”颁奖仪式，宣布了上一年度国内优秀的MEMS企业十强名单，该名单是目前国内最权威的MEMS企业名录，代表现在中国MEMS领域实力最强的10家头部企业。歌尔微电子成立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麦克风及模组、智能传感器及模组、SiP封装等相关业务，专注于MEMS相关产品的自主研发设计与制造，其产品已广泛应用于智能手机、无线耳机、智能穿戴、智能家居、无人机及汽车电子等领域。《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国微型麦克风代表性企业，在微型麦克风领域，市场占有率居世界同行业之首。据Yole Development 《202年MEMS产业现状报告》显示，歌尔在2020年全球MEMS厂商营收排名中升至第六位，继去年首次跻身前十后，仅用一年时间排名升至第六，也是前十名中唯一一家中国企业，报告还指出，在MEMS麦克风方面，歌尔15年来首次超过楼氏电子成为行业第一。上市企业，上半年市值约1351亿元，2021上半年营收302.88亿元，同比增长94.49%；上半年净利润17.31亿元，同比增长121.71%官网：https://www.goertek.com/瑞声科技控股有限公司为智能设备提供领先的微型专有技术解决方案，在声学、光学、触觉反馈、精密制造、微机电、无线射频和天线领域拥有材料研发、仿真、算法、设计、自动化以及工艺开发等尖端技术。集团在设计和大批量高精密制造方面有近三十年经验，《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国电声元器件代表性企业，全球著名的电声元器件制造商之一，2005年在香港上市。在微型声学、触觉、MEMS麦克风领域，分别被工信部认定为我国制造业单项冠军示范企业。现已成为全球领先的同行、IT及消费电子市场微型元器件整体方案供货商。港股上市企业，上半年市值约316.94亿元，2021上半年营收86亿港元，同比增长9.90%；上半年净利润9.21万港元，同比增长187.40%官网：https://www.aactechnologies.com/华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，是领先的半导体和智能传感器供应商，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了其MEMS工艺技术水平和竞争能力。上市企业，上半年市值约908.9亿元，2021上半年营收44.55亿元，同比增长45.44%；上半年净利润10.68亿元，同比增长164.86%官网：https://www.crmicro.com/苏州敏芯微电子技术股份有限公司成立于2007年9月，是一家专业从事微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业，公司总部在苏州工业园区，并在苏州工业园区、昆山设有传感器产品制造工厂。目前，凭借自主知识产权的芯片设计，并与国际知名Fab厂和封装厂合作，完成了公司产品的研发与产业化，并带动了MEMS上下游产业链的发展。公司三大产品线分别为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，应用场景涵盖了消费电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领域。《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。敏芯作为中国最早成立的MEMS研发公司之一，现已拥有完整的芯片设计、晶圆制造、封装与测试等全产业链的自主研发设计能力，凭借完全自主设计的MEMS芯片与ASIC芯片成功打破了国外厂商长期垄断的格局，为MEMS全产业链的国产化探索了一条完整的道路。上市企业，上半年市值约51.55亿元，2021上半年营收1.87亿元，同比增长40.17%；净利润1021.77万元，同比增长-40.05%官网：https://www.memsensing.com/中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，中国MEMS行业协会理事长单位，专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。连续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”，是国内最大的MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国MEMS传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一。优势产品包括MEMS惯性器件与系统、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等，产品广泛应用于航空航天、高铁、汽车、自动驾驶、通信、地震监测、物联网、智慧城市、智能家电等领域。2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收，用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，于1999年成立, 目前总部位于中国天津，在美国圣何塞和中国无锡、上海、深圳、台北设有研发机构，在中国无锡、上海拥有制造和封测工厂，销售及技术支持网络遍及亚太，北美，欧洲，非洲和中东等地区。《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国惯性传感器代表性企业，EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，原创开发了基于标准CMOS流程的微机电系统和全球领先的制造工艺和测试技术，成功研发出30多种型号的加速度传感器、磁传感器等产品。2007年在NASDAQ上市，是全球第一家MEMS上市公司。2020年，美新获得mCube独家授权其所有惯性传感器芯片技术，全面布局电容式加速度计和陀螺仪领域。最近完成10亿人民币A轮融资，国内最大的MEMS惯性传感器公司，拥有特色工艺MEMS生产线。苏州纳芯微电子是高性能高可靠性模拟芯片的研发设计企业。公司自2013年成立以来，专注于围绕各个应用场景进行产品开发，由传感器信号调理ASIC芯片出发，向前后端拓展了集成式传感器芯片、隔离与接口芯片、驱动与采样芯片，形成了信号感知、系统互联与功率驱动的产品布局。在混合信号处理、高耐压数字隔离、集成式传感器设计等领域拥有独立知识产权和丰富技术储备，产品已作为新能源汽车、工业自动化等应用的关键芯片，成功进入多个行业一线客户的供应体系并实现大规模量产。同时公司持续加大各应用场景的产品研发，产品被广泛应用于国内知名品牌客户，涵盖信息通讯、工业控制、汽车电子和消费电子等领域。官网：https://www.novosns.com/上海矽睿科技有限公司成立于2012年9月，专注于MEMS智能传感器业务，设计和生产优质传感器产品，并为客户提供相应的智能应用方案和服务。矽睿科技拥有完全自主知识产权，申请并成功授权70余项国际国内发明专利，专利组合覆盖MEMS工艺制程、传感器设计和ASIC设计、算法和系统应用软件等。《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，专业从事高端MEMS传感器和执行器、微系统等技术与产品的开发、生产及销售。官网：https://www.qstcorp.com/西人马联合测控成立于2017年，总部坐落于福建，北方总部坐落于北京、南方总部坐落于深圳，欧洲总部坐落于法国巴黎。西人马联合测控总人数近1000人，其中科研人员约600人，拥有超过500项专利，并以每年30%以上的速度递增。EET电子工程专辑（中国）2021年中国传感器公司TOP10之一，采用IDM模式，专注于传感器芯片及相关调理芯片的研发、设计、制造和封测。作为一家IDM芯片供应商，西人马拥有先进的MEMSASICSoC以及非硅基芯片的设计、制造、封测能力，基于这些先进的核心技术，西人马既可以单独给客户提供高品质的芯片产品，也可以提供相应的模组和解决方案，利用西人马先进的传感器、边缘计算产品和相应的开发套件帮助客户快速地搭建起具有监测与控制功能的A-IoT系统。官网：https://www.fatritech.com/明皜传感由海内外知名管理和技术团队与苏州固锝电子股份有限公司（股票代码:002079）共同投资创建。团队分布在苏州、美国硅谷及台湾新竹；团队成员执业于半导体、MEMS业界数十年，在产品设计与研发、系统集成与应用、封装测试及生产营运及市场推广等方面具有丰富的经验。附23条MEMS生产线汇总！
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▲赛微电子董事长杨云春手持北京FAB3生产的8英寸MEMS麦克风晶圆
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▲上海先进半导体
华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司合并而成，自建设中国大陆第一条8英寸（200mm）集成电路生产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。在8英寸制造平台上，华虹实现MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容。已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。_zeb0.jpg)
睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。睿创微纳的8英寸MEMS晶圆生产线由公司与代工厂共建，已量产，月产能1500片晶圆。2020年7月，与烟台开发区签署协议，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。罕王微电子是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。罕王微电子2016年收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规模化量产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程，设计晶圆产能36万片/年。生产传感器包括：陀螺仪、IMU惯性测量单元、射频RF-MEMS及加速度、温度、湿度、压力、应力传感器等。中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，今年3月获B轮融资，发展迅速，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业，也是广东省MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业。2019年奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片生产线，一期工程净化车间总面积约2500平方米，配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，2021年8月，奥松电子官网宣布对外开放MEMS芯片代工业务，包括设备共享、技术支持、企业孵化等服务。2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在珠海高新技术产业开发区建设8英寸先进MEMS特色半导体IDM产业基地项目。该项目建成后，将成为国内先进的MEMS芯片及智能传感器产业集群，提高MEMS芯片的代工和量产能力。诺思微系统位于天津，是一家无线设备射频前端MEMS滤波芯片服务商，其产品主要采用薄膜体声波谐振器(FBAR)技术以及硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等提供解决方案。 诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。2021年3月，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。2021年8月完成4亿元融资，预计在一年内全面加速产能释放，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。成立于2010年，总部在江苏张家港，建设有完整的第四代磁传感技术——隧道磁电阻（TMR）的磁性感应芯片产线。多维科技的磁传感器晶圆代工厂拥有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，提供完整的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开发及晶圆制造服务（包括设计、制造和测试），年产10亿个TMR磁传感器。2021年5月多维科技获4亿元融资，将用于对现有产线进行升级，能够进一步强化“自研、自产、技术领先”的核心竞争力。2006年成立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋教授为首的科研团队攻克了异质膜关键工艺与技术，建设国内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片生产线，是世界上少数几家具有金属溅射薄膜压敏芯片规模化生产能力的公司之一。2019年8月该生产线实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺利完工投产，用地面积35亩，建设总用地面积2万多平米，传感器芯片年生产能力可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。二期项目正在进行，预计完工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。高德红外创立于1999年，总部位于武汉，拥有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是目前国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线，已实现从 120×90 到 1280×1024 从低到高各类面阵规格产品型号批产能力。高德红外目前已拥有3条8英寸红外探测器产线，据2021年8月消息，年底将有新产线投产，并提高3~4倍产能。
武汉衍熙微器件拥有全国第一条8寸体声波（BAW）量产线，具有先进的光刻、薄膜、蚀刻以及封装设备，并建立创新自主开发的产品生产流程。该产线主要产品有MEMS滤波器、双工器等。2018年，武汉衍熙微器件进行项目扩建，一期为租赁现有厂房5600平方米，建设3600平方米的无尘室车间；二期计划建设约10000平方米的无尘室车间，用于扩大生产。杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，有：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。2021年7月30日，士兰微发出资产重组公告，引入国家集成电路产业投资基金股份有限公司，募集11亿元。苏州固锝成立于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM业务。2010年固锝收购明锐光电，明锐光电主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八寸晶圆级封装技术及产线和产品研发。
2011年成立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发、设计。2021年8月，明皜传感获小米投资，注册资本由 6443.64 万元人民币增加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。2012年成立艾特曼电子，主要从事晶圆级MEMS器件封装工艺及相关核心技术的开发并提供代工服务，服务领域涵盖消费类电子产品、汽车电子、工业控制、家电领域惯性传感器（加速度计、陀螺仪）以及红外传感器等。2021年6月，苏州固锝与华景传感合资成立华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片设计技术与苏州固锝的封测技术及生产经验相结合，逐步实现MEMS麦克风在高端领域的进口替代。同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户苏州。项目一期产线将建立符合华为体系标准的MEMS声学传感器的封测基地，主要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入国内首创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最后一道关键工艺，华锝将拥有自主晶圆级封装相关自主技术知识产权。苏州纳米城6英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司（苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。2016年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线工艺稳定性达到98%；针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。2017年，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营，月产量将达到3000件。该产线部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线，SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率。今年6月，上海微技术工研院宣布将8英寸线每年四分之一的总机时资助给上海大学，用于微电子学院教学实践，为期5年。中国科学院上海微系统所现有的MEMS技术平台由微系统加工平台和微系统封装平台两部分组成，分别位于上海微系统所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。整个平台拥有100多台套先进的大中型设备，总价值达1.1亿元，可以完成从微芯片制造、芯片封装、器件测试、微系统集成等成套工艺，为微系统研究提供有力的技术保障。
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