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等离子切割量产型
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等离子切割量产型

该系统处理模块具有较高的灵活性，
可支持300mm晶圆并向下兼容。

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    该系统处理模块具有较高的灵活性，
    可支持300mm晶圆并向下兼容。

    产品介绍


    该系统处理模块具有较高的灵活性，可支持300mm晶圆并向下兼容。


    1.基于现有的SPTS等离子刻蚀平台


    2.相比于传统的刀片切割有更大产品，更高的良品率。


    3.系统可搭载6个切割模块


    如需更详细的设备信息敬请联系我们