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EVG 120涂胶喷胶匀胶系统
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EVG 120涂胶喷胶匀胶系统

EVG 120是一款全自动晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适用于小规模自动化生产。

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    商品描述

    EVG 120是一款全自动晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适用于小规模自动化生产。

    产品简介：


    EVG 120是一款全自动晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂、烘烤、冷却和显影，适用于小规模自动化生产。

     

    主要特点及参数：


    ·最大可适用于8寸（200mm）晶圆


    ·最多可配置2个工艺模组和10个冷/热板


    ·专业的化学品外存柜


    ·采用独特技术减少材料消耗，保证高均匀性


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