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EVG 620NT(NIL)纳米压印系统
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EVG 620NT(NIL)纳米压印系统

EVG 620NT(NIL)是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备,基于Smart NIL掩膜对准技

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    EVG 620NT(NIL)是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备,基于Smart NIL掩膜对准技


    产品简介:


    EVG 620NT(NIL)是一款基于EVG620NT光刻机的紫外纳米压印设备,基于Smart NIL掩膜对准技术


    主要特点及参数:


    ·最大支持6英寸(150mm)晶圆


    ·最高分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)


    ·支持汞灯或UV-LED光源


    ·可选配功能:


    键合对准


    红外对准


    SmartNIL


    微接触印刷


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