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EVG 610（NIL）纳米压印系统
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EVG 610（NIL）纳米压印系统

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换。

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    EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换。

    产品简介：


    EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持6英寸（150mm）晶圆


    ·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）


    ·支持汞灯或UV-LED光源


    ·可选配功能：


    键合对准


    红外对准


    纳米压印光刻（NIL）


    微接触印刷


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