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EVG 720纳米压印系统
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EVG 720纳米压印系统

EVG720是一款全自动化的紫外纳米压印设备，能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构，非常适合于下一代微流控器件、光学器件，例如光学衍射元件（DOE）。

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    EVG720是一款全自动化的紫外纳米压印设备，能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构，非常适合于下一代微流控器件、光学器件，例如光学衍射元件（DOE）。

    产品简介：


    EVG720是一款全自动化的紫外纳米压印设备，能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构，非常适合于下一代微流控器件、光学器件，例如光学衍射元件（DOE）。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持6英寸（150mm）晶圆


    ·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）


    ·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术


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