产品简介：

EVG7200是一款全自动化的紫外纳米压印设备，相比EVG720可适用于更大尺寸的基板，能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构，非常适合于下一代微流控器件、光学器件，例如光学衍射元件（DOE）。

主要特点及参数：

·最大支持8英寸（200mm）晶圆

·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）

·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术

选型