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EVG IQ Aligner（NIL）纳米压印系统
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EVG IQ Aligner（NIL）纳米压印系统

EVG IQ Aligner（NIL）是一款全自动的紫外纳米压印工艺平台，适合于制造晶圆级透镜成型和堆砌。

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    EVG IQ Aligner（NIL）是一款全自动的紫外纳米压印工艺平台，适合于制造晶圆级透镜成型和堆砌。

    产品简介：


    EVG IQ Aligner（NIL）是一款全自动的紫外纳米压印工艺平台，适合于制造晶圆级透镜成型和堆砌。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持12英寸（300mm）晶圆


    ·最高分辨率可达50nm（取决于模版和工艺条件）


    ·3种独立控制的Z轴控制压印胶总厚度的变化


    ·可选配涂胶、键合对准、紫外键合模块


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