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EVG 7200LA纳米压印系统
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EVG 7200LA纳米压印系统

EVG7200LA是一款用于超大尺寸的全自动化的紫外纳米压印设备，主要适合于显示器、生物和光学器件等。

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    EVG7200LA是一款用于超大尺寸的全自动化的紫外纳米压印设备，主要适合于显示器、生物和光学器件等。

    产品简介：


    EVG7200LA是一款用于超大尺寸的全自动化的紫外纳米压印设备，主要适合于显示器、生物和光学器件等。

     

    主要特点及参数：


    ·支持8英寸（200mm）晶圆到GEN3（550*650mm）


    ·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）


    ·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术


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