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EVG 510 HE热压印系统
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EVG 510 HE热压印系统

是一款基于EVG510设备的半自动热压印设备，适用于所有聚合物，可应用于高质量的纳米图形转移。

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    商品描述

    是一款基于EVG510设备的半自动热压印设备，适用于所有聚合物，可应用于高质量的纳米图形转移。

    产品简介：


    EVG 510 HE是一款基于EVG510设备的半自动热压印设备，适用于所有聚合物，可应用于高质量的纳米图形转移。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持8英寸（200mm）晶圆


    ·最大压力：60KN


    ·最大温度：350℃（可选配至550℃）


    ·最大真空度：0.1mbar（可选配至10-5mbar）


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