产品简介：

EVG 520 HE是一款基于EVG520设备的半自动热压印设备，适用于所有聚合物，可应用于高质量的纳米图形转移。相比EVG 510 HE可提供更大的压力。

主要特点及参数：

·最大支持8英寸（200mm）晶圆

·自动压印并具有气动脱模功能

·最大压力：100KN

·最大温度：350℃（可选配至550℃）

·最大真空度：0.1mbar（可选配至10-5mbar）

选型