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EVG 520 HE是一款基于EVG520设备的半自动热压印设备,适用于所有聚合物,可应用于高质量的纳米图形转移。相比EVG 510 HE可提供更大的压力。
·最大支持8英寸(200mm)晶圆
·自动压印并具有气动脱模功能
·最大压力:100KN
·最大温度:350℃(可选配至550℃)
·最大真空度:0.1mbar(可选配至10-5mbar)