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EVG 40NT检测系统
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EVG 40NT检测系统

EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有高精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具。

 


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    EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有高精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具。

     


    产品简介：


    EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸测量和键合对准测量的设备，具有高精度，可作为EVG GEMINI FB中100nm键合精度的验证工具。

     

    主要特点及参数：


    ·自上而下的显微镜流型测量


    ·对准精度测量


    ·CD尺寸测量


    ·多层厚度测量


    ·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中


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