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EVG 320晶圆清洗系统
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EVG 320晶圆清洗系统

EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备,采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗,提高键合质量。

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    商品描述

    EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备,采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗,提高键合质量。


    产品简介:


    EVG 320是一款自动单晶圆清洗设备,采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗,提高键合质量。

     

    主要特点及参数:


    ·最大可适用于12寸(300mm)晶圆


    ·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自动运行


    ·采用1MHz兆声清洗头,有效去除>1μm的颗粒


    ·最多可以配置4个清洗腔室


    ·机器人处理确保预对准精度


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