产品简介：

EVG 620BA是一款半自动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，拥有全自动高分辨率底部摄像头，适合于EVG501、EVG510、EVG520键合机的键合对准。

主要特点及参数：

·最大支持6英寸（150mm）晶圆

·支持2层或3层晶圆堆叠对准

·对准精度：

底部对准精度≤±2μm 3σ

透明对准精度≤±1μm 3σ

·可选配红外对准

·可升级至自动对准

选型