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EVG 610BA对准系统
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EVG 610BA对准系统

EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准。

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    EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准。

    产品简介：


    EVG 610BA是一款手动研发型键合对准设备，采用双面光学对准，适合于EVG501、EVG510键合机的键合对准。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持6英寸（150mm）晶圆


    ·对准精度：


    底部对准精度≤±2μm 3σ


    透明对准精度≤±1μm 3σ


    ·可选配红外对准


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