XY 方向扫描范围

90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值）

35μm x 35μm（典型值）, 30μm 最小值）

 Z 方向扫描范围

10μm（典型值），9.5μm（最小值）

≥ 3μm

 纵向噪音水平

<30pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达 625Hz）

<40pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达 625Hz）

 X-Y 最大针尖速度

 (1% 轨迹误差 )

>2mm/S

 Z 最大针尖速度

12mm/S

 XY 方向闭环噪音水平

≤ 0.15nm RMS 值（典型的成像带宽条件最高可达 625Hz）

≤ 0.20nm RMS（典型的成像带宽条件最高可达 2.5KHz）

 Z方向闭环噪音水平

35pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达 625Hz）；50pm RMS 值，力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz)

30pm RMS （在合适的环境下，典型的成像带宽最高可达 625Hz）

XY 方向平坦度（30μm 范围）

≤ 3nm

XYZ 方向的非线性参数

<0.5%

<0.5%

样品尺寸和固定方式

210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚

210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚

马达驱动样品台 (X-Y 轴 )

180mm × 150mm 可 观 测 区 域； 单 向

2μm 重复性；双向 3μm 重复性

180mm × 150mm 可 观 测 区 域； 单 向

2μm 重复性；双向 3μm 重复性

光学系统

5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头；180μm 至

1465μm 可视区域 ; 数字化缩放，马达驱动聚焦

5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头；130μm 至

1040μm 可视区域 ; 数字化缩放，马达驱动聚焦

控制器

NanoScope V

NanoScope V

震动隔离

可选防震平台或隔音防震平台，气动式

可选防震平台或隔音防震平台，气动式