Z 方向扫描范围

10μm（典型值）， 9.5μm（最小值）

纵向噪音水平

<30pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)）

XY 方向闭环噪音水平

≤ 0.15nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)）

XY 方向开环噪音水平

≤ 0.1nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)）

Z 方向闭环噪音水平

35pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)

50pm RMS 值，力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz)

XYZ 三方向的非线性

<0.5% （典型值）

样品尺寸和固定方式

210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚

马达驱动样品台 (X-Y 轴 )

180mm × 150mm 可观测区域；

单向 2μm 重复性；双向 3μm 重复性

光学系统

5 百万像素数字摄像头；180μm 至 1465μm 可视区域 ;

数字化缩放，马达 驱动聚焦

控制器

NanoScope V

防震台

可选气动式隔音防震平台

隔音体系

可工作在高达 85DBC 连续噪音环境中