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苏打基材	石英基材
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苏打基材 石英基材

美明电子提供各类苏打基材石英基材,各类光掩模。满足不同客户的个性需求,欢迎致电合作洽谈。

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    商品描述

    美明电子提供各类苏打基材石英基材,各类光掩模。满足不同客户的个性需求,欢迎致电合作洽谈。


    类别

    苏打基材

    石英基材

    常规尺寸(mm)

    3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”

    450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm

    最大尺寸(mm)

    850*1200

    特殊尺寸(mm)

    按客户要求定做(XY=20~609mm)

    基材厚度(mm)

    1.6  2.3 3.0  4.8   7.8   8.0

    2.3  3.0  5.0    6.4    8.0

    铬膜类型

       ARC Anti-Reflective Chrome

    热性能(℃)

    710℃

    1730℃

    温度收缩系数

    8.1*10ˉ6(20~200 ℃)

    5.0*10-7 /℃ (20~200℃)

    透过率

    >90%(T=2.3mm;l=400nm)

    >90%(T=2.3mm;l=200nm)

    折射率

    1.52

    1.46

    垂直入射反射率

    约8%(片面反射约4%)

    约2%(片面反射约1%)

    耐酸性能

    H2SO4(80℃,99%) 0.1Å/min

    H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min

    耐碱性能

    NaOH(Wt2%)0.8Å/min

    NaOH(Wt2%)0.4Å/min

    表面平整度

    <20um(400*400*3.0mm)