苏州美明电子
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美明电子提供各类苏打基材石英基材,各类光掩模。满足不同客户的个性需求,欢迎致电合作洽谈。
类别
苏打基材
石英基材
常规尺寸(mm)
3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
最大尺寸(mm)
850*1200
特殊尺寸(mm)
按客户要求定做(XY=20~609mm)
基材厚度(mm)
1.6 2.3 3.0 4.8 7.8 8.0
2.3 3.0 5.0 6.4 8.0
铬膜类型
ARC Anti-Reflective Chrome
热性能(℃)
710℃
1730℃
温度收缩系数
8.1*10ˉ6(20~200 ℃)
5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透过率
>90%(T=2.3mm;l=400nm)
>90%(T=2.3mm;l=200nm)
折射率
1.52
1.46
垂直入射反射率
约8%(片面反射约4%)
约2%(片面反射约1%)
耐酸性能
H2SO4(80℃,99%) 0.1Å/min
H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min
耐碱性能
NaOH(Wt2%)0.8Å/min
NaOH(Wt2%)0.4Å/min
表面平整度
<20um(400*400*3.0mm)