日本Elionix 微细加式电子束曝光电子束直写机ELS-F125/F100/HS50
ELS-F125是Elionix推出的世界上首台加速电压达125KV的电子束曝光系统，其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下优点：
l 。超高书写精度
- 5 nm 线宽精度 @125 kV
- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @125 kV
2. 大通量、均匀性好
- 宽视野书写:500um视场下10 nm线宽
- 高束流下电子束直径依然很小，大通量而不影响分辨率，2 nm电子束直径@1 nA
3. 界面用户友好
基于Windows系统的CAD和SEM界面:
- 简单易用的图案设计功能
- 易于控制的电子束条件
产品应用
