产品简介：

EVG IQ Aligner是一款高自动化的光刻工艺平台，可集成多种高精度对准技术，可对应在晶圆及多种基板上的应用，适用于大型生产线。

主要特点及参数：

·最大支持8英寸（200mm）晶圆

·支持易碎、薄片及翘曲晶圆的处理

·全自动顶部及底部对准：

顶部对准精度≤±0.5μm

底部对准精度≤±1μm

·支持Casettes, SMIF或FOUP上料

·可选配功能：

红外对准（透射或反射）

选型