产品简介：

EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工艺平台的升级款，在对准精度、处理速度上都有较大提升，适用于大型生产线。

主要特点及参数：

·最大支持12英寸（300mm）晶圆

·支持易碎、薄片及翘曲晶圆的处理。

·全自动顶部及底部对准：

顶部对准精度≤±0.25μm

底部对准精度≤±0.5μm

·支持Casettes, SMIF或FOUP上料

·可选配功能：

红外对准（透射或反射）

选型