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EVG Hercules光刻系统
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EVG Hercules光刻系统

EVG Hercules是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、光刻等工艺的全自动大型工艺平台，具有功能多、产量高的特点。

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    商品描述

    EVG Hercules是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、光刻等工艺的全自动大型工艺平台，具有功能多、产量高的特点。

    产品简介：


    EVG Hercules是一款集成了晶圆清洗、涂胶、烘烤、光刻等工艺的全自动大型工艺平台，具有功能多、产量高的特点。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持12英寸（300mm）晶圆


    ·支持易碎、薄片及翘曲晶圆的处理


    ·支持Casettes-to-Casettes全自动运行


    ·最大可扩展8个湿法模块或24个烘烤、冷却、真空模块


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    EVG Hercules面议有货