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EVG GEMINI晶圆键合系统
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EVG GEMINI晶圆键合系统

EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台，实现了高程度的集成度和自动化，适用于大型量产。

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    商品描述

    EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台，实现了高程度的集成度和自动化，适用于大型量产。

    产品简介：


    EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台，实现了高程度的集成度和自动化，适用于大型量产。

     

    主要特点及参数：


    ·最大支持12英寸（300mm）晶圆


    ·最多兼容4个键合腔室和6个预处理腔室


    ·兼容底部对准、红外对准以及SmartView对准


    ·可选配模块：


    低温等离子体活化


    晶圆清洗


    涂胶模块


    UV固化模块


    烘烤/冷却模块


    对准验证模块


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