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EVG 805是一款半自动解键合设备,支持热解、机械解或胶带剥离
EVG 805是一款半自动解键合设备,支持热解、机械解或胶带剥离。
·最大可适用于12寸(300mm)晶圆
·最多可配置1个解键合模组
·可处理薄片