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EVG 820晶圆贴胶带系统
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EVG 820晶圆贴胶带系统

EVG 820是一款自动晶圆贴胶膜与对准系统，适用于采用胶带的临时键合与预对准。

 


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    商品描述

    EVG 820是一款自动晶圆贴胶膜与对准系统，适用于采用胶带的临时键合与预对准。

     


    产品简介：


    EVG 820是一款自动晶圆贴胶膜与对准系统，适用于采用胶带的临时键合与预对准。

     

    主要特点及参数：


    ·最大可适用于12寸（300mm）晶圆


    ·可作为模组集成于EVG850TB临时键合设备中


    ·地侧保护膜剥离


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