• 产品介绍

• Bell Jar 35等离子设备是一种研究设备，其专为科学实验所研发。

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• 该设备适用于热蒸发、溅射、电子束蒸发、SEM（扫描电子显微镜）样品制备的金属涂层，也适用于传统的等离子体工艺。

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• 基本设备

• 外壳约宽560mm×高1640mm×深620mm；

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• 腔室容积：约为35升；

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• 供电电源：230V/16A；

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• 气源

• 3个质量流量控制器（MFCs）；

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• 真空腔室

• 硼硅玻璃材质的玻璃罩；φ315mm×高500mm。

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• 溅射源

• 1个溅射源2“-3”+挡板（可为反应过程选配排烟管和进气口）。

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• 基材支架

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• φ140mm（可选择旋转型、基材加热器、基材冷却装置）；

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• 可切换为等离子体预处理的电极（清洗、活化、蚀刻）。

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• 控制系统

• PCCE控制系统（MicrosoftWindows XPe）；

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• 压力测量

• Pirani；

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• 发生器

• 频率：

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• 40kHz：功率0-500W；

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• 13.56MHz：功率0-300W；

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• 直流偏置电源或电极性脉冲；

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• 最大功率300V;

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• 最大电压600V，直流电；

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• 发生器为0-100%无极可调型。

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• 真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）。

选型