• 特点

• 低温等离子煤化仪PCA系列，共三款设备，满足不同用户的需求。

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• FCA100半自动控制，发生器13.56MHz/0~100W；

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• FCA200半自动控制，发生器13.56MHz 2.45GHz/0~300W，温控系统，单路气体；

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• FCA300半自动控制，发生器13.56MHz 2.45GHz/0~300W，温控系统，双路气体；

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• FCA200/FCA300配备了温控系统，可以保证灰化的同时不破坏煤的内部结构，并且加快了灰化速度。

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• 同时，FCA200/FCA300可设定压力、时间、功率、气体流量、舱体温度等多个参数，可以提供科研人员多种数据

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• 产品应用

• 目前广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。

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• 产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。

• 其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

选型