• 产品介绍   

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•  德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。

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• Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40kHz 、80kHz、100kHz、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

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• 目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。

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• 其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

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• 特点

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• 等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

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• 对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。

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• 等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

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• 射频功率无极连续可调。

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• 高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

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• 特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

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• 特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

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• 设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

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• 基本设备

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• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同；

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• 腔室容积：根据具体版本，分为150升；

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• 供电电源：230V或者400V/3相位；

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• 气源

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• 质量流量控制器（MFCs）；

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• 真空腔室

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• 矩形不锈钢件，配有铰链的门；（约宽400mm、高600mm×深625mm）

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• 装载件

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• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃；

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• 电极

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• 单层或多层；

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• 具有气体喷淋的RIE电极；

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• 控制系统

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• PCCE控制系统（MicrosoftWindows CE）；

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• PC控制系统（MicrosoftWindows POS Rsady 2009)；

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• 压力测量

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• Pirani；

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• Baratron(适用于腐蚀性气体版本）；

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• 计时器

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• 数字型；

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• 发生器

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• 频率：

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• 40kHz：功率0-1000W；0-1500W；0-2500W；

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• 13.56MHz：功率0-300W；0-600W；0-1000W;

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• 2.45GHz：功率0-1200W；

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• 所有发生器均为0-100%无极可调型。

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• 真空泵

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• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）。

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• 产品应用

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• 分析

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• 考古

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• 汽车行业

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• 生物技术

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• 弹性体技术

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• 电子技术

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• 电子显微镜

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• 精密工程

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• 研究和开发

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• 半导体技术

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• 小批量生产

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• 塑料技术

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• 医疗技术

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• 微系统技术

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• 太阳能电池技术

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• 纺织技术

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