• 产品介绍

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• 德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。

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• Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40kHz 、80kHz、100kHz、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

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• 目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。

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• 产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。

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• 其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

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• 特点

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• 等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

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• 对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。

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• 等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

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• 射频功率无极连续可调。

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• 高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

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• 特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

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• 特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

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• 设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

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• 外尺寸：B-350mmH-166mmT-300mm重量-10kg；

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• 喷头直径：φ25mm，L-150mm，重量-0.5kg，线缆-1.5m；

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• 发生器：245GHz/8W；

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• 反应气体：单路Ar；

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• 电源：单相100~240V，

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• 清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

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• 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

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• 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

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• 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

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• 清洗半导体元件、印刷线路板。

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• 清洗生物芯片、微流控芯片。

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• 清洗沉积凝胶的基片。

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• 高分子材料表面修饰。

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• 牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

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• 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

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• 煤、石棉低温灰化。

选型